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真空爐的真空度測量（liàng）

2021-03-24  瀏（liú）覽：1907次

　　真空（kōng）測量是真空（kōng）技術中的一個（gè）重要組成部分。用於測量真空度的儀器（qì）稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原（yuán）理如下：

　　（一）熱偶（ǒu）真空計

　　熱偶真空計由敏感元件（jiàn）、熱偶規管和測量儀器組成。熱偶規管（guǎn）與被測真空係統（tǒng）相通，外殼為玻璃管，管內有加熱絲（sī）和熱（rè）偶絲。熱（rè）偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由於溫差效應，在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則（zé）熱偶（ǒu）絲　　的電勢限決於（yú）加熱絲的（de）溫度，而加熱絲的（de）溫度與被測氣體的壓強有關。壓（yā）強低（dī），氣體熱導率小，被氣（qì）體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的（de）熱電勢增大；反之，則熱電勢減少。回路中的熱電勢用毫伏（fú）表測量，表中的毫伏數（shù）即反映出真空

　　度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩定，而（ér）接入了穩壓電源。所以測量儀器（qì）是（shì）由測量熱電勢的毫伏表和規管（guǎn）加熱絲穩（wěn）壓電源兩部分組成。

　　（二（èr））電離（lí）真空計

　　這種真空計主要用（yòng）於測量（liàng）高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被（bèi）電離生成的正離子數與氣體壓強成正比按照離產生的方法不同，利（lì）用（yòng）熱陰極發射電子使氣體（tǐ）電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測量儀器（qì）組成。測量儀器由規管（guǎn）工（gōng）作電源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器（qì）等部分（fèn）組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通（tōng）。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對於陰極（jí）電負電位；柵極（jí）相（xiàng）對於陰極電（diàn）正電位。當（dāng）電離規管通電加熱後，陰極發射電子，在電子到達（dá）柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產生正離子和（hé）電（diàn）子的電離現象。當發（fā）射電流一定時，正離子數日與被測氣（qì）體壓強成正（zhèng）比（bǐ）。正離子被收集極收集後（hòu），經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

　　（三）複合真空計

　　通（tōng）常，對低真空和高真空的測量不（bú）能用一（yī）種真空計來完成，而應采（cǎi）用（yòng）複合真空計，應用較（jiào）多的是電離與熱偶式複合真空計。它的測（cè）量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測（cè）量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，分別接在（zài）真空係（xì）統上，通過旋鈕可分別（bié）給兩個規管加熱，並選擇使用。


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